Реферат: Схемотехническое и функциональное проектирование вакуумной коммутационной аппаратуры

                              - 135 -

данный ФЭ,  приведена на рис. П.16, П.16А,Б, из которых видно, что

дополнительная  функция  ВКА повлекла за собой изменение структуры

ВКА за счет появления нового ФМ "катодный узел".

     Подобное выполнение  устройства  позволяет  уменьшить  усилие

герметизации вследствие устранения промежуточного  слоя  окисла  и

повышения  пластичности  уплотнителя  путем  уничножения  оксидной

пленки на его поверхности,  что существенно повышает надежность  и

ресурс  работы затвора и уменьшает массо-габаритные характеристики

привода [165].

     Выводы.

     1. Создан комплекс программных средств,  реализущий  разрабо-

танные  методики  и  позволяющий  автоматизировать  основные этапы

функционального и схемотехнического проектирования ВКА.  Использо-

вание  программных средств,  предоставляя возможность рассмотрения

всех вариантов генерируемых технических решений ВКА,  в  3-4  раза

уменьшает  трудоемкость  конструкторских разработок по сравнению с

нормами традиционного проектирования.

     2. Разработанное   программное  обеспечение  параметрического

анализа конструкций ВКА инвариантно и может быть использовано  для

анализа  ТО любой предметной области при создании соответствующего

информационного обеспечения.

     3. На  базе предложенного алгоритма схемотехнического и функ-

ционального проектирования  ВКА,  а  также  созданных  программных

средств,  разработана  структурно-функциональная  модель САПР ВКА,

реализующая этапы синтеза,  анализа и моделирования ВКА, использо-

вание  которой  позволит конструктору получать принципиально новые

технические решения.

     4. На  основе применения созданных программных средств м раз-

                              - 136 -

личных методик схемотехнического и функционального  проектирования

разработаны новые перспективные конструкции ВКА,  отличающиеся по-

вышенными технико-экономическими показателями,  в частности, в 2-4

раза  меньшими потребляемой мощностью и массо-габаритными характе-

ристиками, в 1,5-2 раза повышенными ресурсом и надежностью работы.

     5. Практически   реализована  конструкция  нового,  ранее  не

встречавшегося в практике конструирования типа ВКА  с  механизмами

переменной структуры: с отключением механизма герметизации при пе-

рекрывании проходного отверстия и с отключением механизма  переме-

щения  уплотнительного  диска  при его герметизации,  выявленная в

процессе разработки методических основ синтеза механизмов ВКА.

.

                            ЗАКЛЮЧЕНИЕ

     Выполненный комплекс   теоретических,   исследовательских   и

конструкторских  работ  и  полученные результаты позволяют сделать

следующие выводы:

     1. На  основе анализа требований и эволюции оборудования про-

изводства изделий электронной техники выявлена потребность  разра-

ботки новых конструкций ВКА. Показана необходимость новых подходов

к проектированию ВКА, использование которых раскрывает и усиливает

творческие возможности конструктора и предоставляет ему методы для

поддержки принимаемых им решений.

     2. Проведен системный анализ ВКА, позволивший разработать ин-

вариантные относительно иерархического уровня модели ВКА как  объ-

екта  конструирования  и  системную модель процесса проектирования

ВКА,  являющиеся основой создания методик функционального и схемо-

технического проектирования. На основе системного анализа произве-

дена структуризация требований,  предъявляемых к ВКА, и формализо-

ваны  процедуры  формирования исходных данных для различных этапов

проектирования,  позволяющие устранить ошибки конструктора, умень-

шить количество итераций и исключить неопределенность и противоре-

чивость данных при проектировании.

     3. Осуществлен функционально-структурный анализ ВКА, на осно-

ве которого выявлена обобщенная структура  ВКА  и  установлена  ее

стабильность,  что  обеспечило  использование  методов  поискового

конструирования для схемотехнического проектирования ВКА. Показана

целесообразность  применения  наиболее  естественного для практики

конструирования метода морфологического анализа и синтеза,  позво-

ляющего  формализовать  процесс синтеза структурных схем ВКА и об-

легчающего работу конструктора.

     4. Разработаны  математические  модели ВКА на этапах функцио-

нального и схемотехнического проектирования. Обоснованы и выведены

критерии  оптимальности  ВКА,  позволившие  определить пути совер-

шенствования и выбор наилучших технических  решений  ВКА.  Изучено

влияние кинематических и динамических свойств механизмов ВКА на ее

показатели качества и процесс функционирования.

     5. Предложена   обобщенная  модель  функционально-схемотехни-

ческого проектирования ВКА,  предоставляющая конструктору упорядо-

ченную последовательность действий, необходимых для выбора страте-

гии при создании ВКА.

     6. Разработаны  методика и математические модели функциональ-

ного и схемотехнического проектирования ВКА, позволяющие конструк-

тору  генерировать и находить удовлетворяющие ТЗ технические реше-

ния ВКА тогда,  когда его опыта и интуиции недостаточно.  Методика

позволяет  конструктору  как  самому,  так и с помощью средств вы-

числительной техники осуществить синтез ФПД ВКА и целенаправленный

процесс генерации структур ВКА, их поиск и выбор рациональных тех-

нических решений.

     7. Создана  методика  синтеза  ФПД  как этапа функционального

проектирования  ВКА,  позволяющая   разрабатывать   функциональную

структуру  ВКА тогда,  когда разработка ее элементной структуры на

основе известных функциональных структур не удовлетворяет требова-

ниям ТЗ.

     8. Разработана  методика  и  математическая   модель   оценки

конструкций   ВКА   и  ее  структурных  составляющих,  позволяющая

конструктору производить оценку их технического уровня и  выявлять

необходимость проведения модернизации конструкций.

     9. Развита классификация ВКА,  включающая признаки используе-

мых механизмов и являющаяся основой их синтеза. Выявлен новый, ра-

нее не встречающийся в практике конструирования класс устройств  с

механизмами переменной структуры: с отключением механизма гермети-

зации при перекрывании проходного отверстия и с отключением  меха-

низма  перемещения  уплотнительного  диска  при  его герметизации.

Предложена методика синтеза механизмов ВКА, обеспечивающая возмож-

ность формирования их кинематических схем.

     10. Создан комплекс программных средств, реализующий разрабо-

танные  методики  и  позволяющий  автоматизировать  основные этапы

функционального и схемотехнического проектирования ВКА,  использо-

вание которого в 3 - 4 раза уменьшает трудоемкость конструкторских

разработок по сравнению с нормами традиционного проектирования. На

основе полученных результатов разработана  функционально-структур-

ная модель САПР ВКА, реализующая этапы синтеза, анализа  и модели-

рования  ВКА, использование которой позволит конструктору получать

принципиально новые технические решения.

     11. На  базе  проведенных  теоретических  и экспериментальных

исследований разработаны новые перспективные конструкции ВКА,  от-

личающиеся   повышенными  технико-экономическими  показателями,  в

частности,  меньшими (в 2  -  4  раза)  потребляемой  мощностью  и

массо-габаритными  характеристиками,  повышенными (в 1,5 - 2 раза)

ресурсом и надежностью работы.

     Результаты работы  внедрены  на заводе "Темп" (г.  Фурманов),

экономический эффект оценивается в 55 тыс.руб., в ОИЯИ (г. Дубна),

а также в НПО "Вакууммашприбор" (г. Москва) и в НИИТМ (г. Зеленог-

рад).

.

                            ЛИТЕРАТУРА

    1. Данилин Б.С.  Вакуумные технологические процессы и оборудо-

       вание микроэлектроники. - М.: Машиностроение, 1987. - 71 с.

    2. Sharma J.K.N. Vacuum systems for ion implantation equipment

       // Solid State Technol. - V. 17, N 12, 1974.

    3. Тихонов А.Н.  Особенности проектирования  вакуумных  систем

       современного  микрозондового  оборудования.  / Межвузовский

       сборник."Электронное машиностроение,  робототехника, техно-

       логия ЭВП". - М.: МИЭМ, 1984. - с. 123 - 128.

    4. Попов В.Ф. Ионно-лучевые установки. - Л.: Энергоиздат, 1981.

       - 136 с.

    5. Попов В.Ф., Горин Ю.Н. Процессы и установки электронно-ион-

       ной технологии. - М.: Высшая школа, 1988. - 255 с.

    6. Weston G.F. Materials for ultrahigh Vakuum. // Vakuum. - V.

       25, N 7, 1975.

    7. Jlsey R.J.  Outgassing of vakuum materials. I. // Vakuum. -

       V. 25, N 7, 1975.

    8. Жилнин  В.С.,  Жилнина  Л.П.,  Кузьмин  А.А.   Исследование

       десорбции   паров  воды  с  поверхности  нержавеющей  стали

       Х18Н10Т в вакууме 10 - 10 торр при различных  температурах.

       / Сборник ЭТ, сер. 4 "Электровакуумные и газоразрядные при-

       боры". - М.: 1974.

    9. Фигнер А.И. Высоковакуумная техника. / Сборник "Электроника

       и ее применение". - М.: 1978.

   10. Дьяков Ю.Н., Лукичев А.В., Тимофеев Б.В. Современные требо-

       вания к технологическим средам  и  химикатам,  используемым

       для микроэлектроники. // Электронная промышленность. - Вып.

       155, N 7, 1986. - с. 3 - 11.

                            - 2 -

   11. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка ма-

       териалов. - М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.

   12. Данилин  Б.С.,  Киреев  В.Ю.  Применение низкотемпературной

       плазмы для травления и очистки материалов. - М.: Энергоато-

       миздат, 1987. - 264 с.

   13. Hoh  P.D.  Quantative  particulate  contamination   studies

       utilirinq reduced turbulence pumping and Ventig.  // J.Vac.

       Sci. and Technol. - V. 2, N 2, 1984. - p. 198.

   14. Jolliver D.L. Contamination control: New dimensions in VLSI

       manufacturing.// Solid State Tehnol. - 1984,March. - 129 р.

   15. Микролитография второй половины 80-х годов.  - ЦНИИ "Элект-

       роника", вып. 21, 1985. - 5 с.

   16. Winkler O.  Le developpement de la metallurgie sous vide et

       ses perspectives. // Le Vide. - V. 31, N 181, 1976.

   17. Пипко А.И. Вакуумно-термическое оборудование в производстве

       изделий электронной техники.- М.:Машиностроение,1986.- 55с.

   18. Bauer R. Der Vacuumofen-Grundlage wirtschaflicher  Warmebe-

       handlungsverfahren.// Techn. Zbl. prakt. Metallbearb. -  V.

       70, N 11, 1976.

   19. Ковалев Л.К.  Вакуумное оборудование для производства  тон-

       копленочных  структур  квантовой электроники.  // Обзоры по

       ЭТ,  серия 11 "Лазерная техника и оптоэлектроника". - 1982,

       вып. 2 (886) - 83 с.

   20. Розанов Л.Н.  Вакуумные машины и установки. - Л.: Машиност-

       роение.(Ленингр.отд.), 1975. - 336 с.

   21. Саксаганский Г.Л. Вакуумная техника и технология электрофи-

       зического аппаратостроения.  - М.: ИТР. - Ч. 1., 1989. - 56

       с., ч. 2., 1990. - 75 с.

   22. Глазков  А.А.,  Малышев И.Ф.,  Саксаганский Г.Л.  Вакуумные

       системы электрофизических установок.- М.:  Атомиздат,1975.-

                            - 3 -

       288 с.

   23. Redhead P.A.  Ultrahigh Vakuum applied to  physics.  //  J.

       Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.

   24. Симонов В.В.,  Корнилов Л.А., Шашелев А.В., Шокин Е.В. Обо-

       рудование ионной имплантации.  - М.: Радио и связь, 1988. -

       184 с.

   25. Бирюкова Н.Е.,  Виноградов М.И.,  Данилов Н.Д.,  Шишловский

       С.К. Сверхвысоковакуумный безмасляный агрегат. // Электрон-

       ная техника, сер. 7 "Технология, организация производства и

       оборудование". - Вып. 1 (98), 1980. - с. 64 - 68.

   26. Кузнецова Л.А.,  Саксаганский Г.Л.  и др. Вакуумные системы

       экспериментальных термоядерных установок и реакторов с маг-

       нитным удержанием.  // Обзор ЦНИИ Атоминфор.:  ОА-66. - М.:

       1984. - 70 с.

   27. Грошковский Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975.

   28. Левин А.М.  Конструкционные материалы и герметики в вакуум-

       ном приборостроении. - М.: Машиностроение, 1986. - 59 с.

   29. Пипко А.И., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и

       расчет вакуумных систем. - М.: Энергия, 1979. - 504 с.

   30. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование произ-

       водства интегральных схем и промышленные роботы.  - М.: Ра-

       дио и связь, 1988. - 320 с.

   31. Блинов И.Г.,  Кожитов Л.В.  Оборудование полупроводникового

       производства. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.

   32. Large-area industrial vacuum coation in the 1990 s.: [Pap.]

       Prog.  36 th.  Nat.  Symp. Amer. Vac., Boston Mass, 23 - 27

       Oct.  1989. / Johansen Paul R. // J. Vac. Sci. and Technol.

       A., 1990. - 8, N 3 - p. 2798 - 2801.

   33. Аверина А.П., Лоскутов А.И. Вакуумные аналитические приборы

       и оборудование. - М.: Машиностроение, 1986. - 75 с.

                            - 4 -

   34. Некрасов М.И.  Учет дестабилизирующего влияния внутрикамер-

       ных устройств на технологический процесс напыления в вакуу-

       ме. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение, ро-

       бототехника, технология ЭВП". - 1986. - с. 43 - 50.

   35. Карасев Б.Г.,  Саксаганский Г.Л. и др. Комплекс экспер мен-

       тальных установок для исследования  радиационно-вакумных  и

       физикомеханических характеристик конструкционных материалов

       ТЯР.  / Сборник "Исследование и разработка  материалов  для

       реакторов термоядерного синтеза".  - М.:  Наука, 1981, - с.

       134 - 137.

   36. Александров  В.С.,  Саксаганский Г.Л.  и др.  Ускорительный

       комплекс тяжелых ионов в  ОИЯИ.  -  Дубна:  Препринт  ОИЯИ:

       Р9-83-613, 1983. - 196 с.

   37. Vacuum.  / Mizobuchi A.,  Chida K..  // Annu.  Rept, Jan. -

       Dec.  1989. / Inst. Nucl. Stady Univ. Tokyo. - Tokyo, 1990.

       - p. 143 - 144.

   38. Денисов А.Г.,  Кузнецов Н.А.,  Макаренко В.А.  Оборудование

       для молекулярно-лучевой эпитаксии.  // Обзоры по ЭТ, сер. 7

       "Технология,  организация производства и оборудование.  - N

       17 (828), 1981. - 52 с.

   39. Саксаганский Г.Л., Котельников Ю.Н., Малев М.Д., Смирницкая

       Г.В.,  Юферов В.Б.  Сверхвысокий вакуум в радиационно-физи-

       ческом аппаратостроении. - М.: Атомиздат, 1976. - 288 с.

   40. Прогресс технологии БИС. // Дэнси дзайре. - Т.23, 1984. - с.30.

   41. Уэстон Д. Техника сверхвысокого вакуума. - М.: Мир, 1988. -

       365 с.

   42. Achievement  of extreme high vacuum in the order of 10 Pa .

       without baking of test chamber.:  [Pap] Proc.  36 th.  Nat.

       Symp.  Amer.  Vac. Soc., Boston, Mass., 23 - 27 Oct., 1989/

       Kato S.,  Aono M.,  Sato K.,  Baba Y.  // J.  Vac. Sci. and

                            - 5 -

       Tehnol. A. - 1990. - 8, N 3. - p. 2860 - 2864.

   43. Hamacher    H.    Berechnung    des    Saugvermogens     in

       Raumsumulations-   .  kammern  unter  Berucksichtigung  des

       Kaltewandeinflusses. // Vakuumtechnik. - V.25, N 2, 1976.

   44. Котельников   Ю.Н.  Автоматизация  вакуумно-технологических

       процессов и оборудования.- М.:Машиностроение, 1987. - 55 с.

   45. Александрова А.Т.,  Ермаков  Е.С.  Гибкие  производственные

       системы электронной техники.  - М.:  Высшая школа,  1989. -

       319 с.

   46. Волчкевич Л.И.  Автоматизация производства электронной тех-

       ники. - М.: Высшая школа, 1988. - 287 с.

   47. Батраков В.Б.  и др. Разработка информационного и программ-

       ного обеспечений САПР вакуумного оборудования. / В кн."Раз-

       работка  САПР вакуумного оборудования и САПР систем автома-

       тизированного управления".  - НТО МИЭМ,  N  гос.регистрации

       01890052063,  Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02900008823. - М.: 1989. -

       8 - 34 с., ДСП.

   48. Хруничев  Ю.А.  Анализ  производительности оборудования для

       производства электронных  приборов./  Межвузовский  сборник

       "Электровакуумное машиностроение". - М.: Вып. 2, 1978. - с.

       9 - 11.

   49. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1984. -

       207 с.

   50. Александрова  А.Т.  Математическая модель процеса изменения

       концентрации газа в вакуумном объеме при  газовыделении  из

       очага трения. / Межвузовский сборник "Электронное машиност-

       роение, робототехника, технология ЭВП". - М.: 1984. - с. 12

       - 17.

   51. Львов Б.Г. Новые конструкции высоковакуумных прямопролетных

       клапанов. - М.: Высшая школа, 1980. - 72 с.

                            - 6 -

   52. Wheeler W.R. Recent developments in metal-sealed gate valves.

       // J. Vac. Sci. and Technol. - V. 13, N 1, 1976.

   53. Вакуумная техника.  Справочник / Под ред. Фролова Е.С., Ми-

       найчева В.Е. - М.: Машиностроение, 1985. - 351 с.

   54. Львов Б.Г.,  Шувалов А.С.  Техническое  обслуживание  новой

       коммутационно-регулирующей аппаратуры.  - М.: Высшая школа,

       1987. - 72 с.

   55. Рот А. Вакуумные уплотнения. - М.: Энергия, 1971. - 464 с.

   56. Вакуумное оборудование. / Каталог. - М.: ЦИНТИхимнефтемаш,

       1985. - 60 с., ДСП.

   57. Дополнения и изменения к номенклатурному каталогу на  осво-

       енные и серийно выпускаемые изделия вакуумного машинострое-

       ния.  - М.:  ЦИНТИхимнефтемаш, 1986. - 11с., 1987. - 12 с.,

       1988. - 15 с. ДСП.

   58. Вакуумная запорная и регулирующая арматура.  Справочные ма-

       териалы. - М.: ОТЭИНТИ, 1987. - 55 с.

   59. Vacuum valves. Каталог фирмы VAT., 1989. - 220 р.

   60. Vacuum Equipment. Каталог фирмы PERKIN ELMER, 1988. - 185 р.

   61. Vacuum Components. Каталог фирмы BALZERS, 1987. - 300 р.

   62. Ventile. Каталог фирмы LEYBOLD-HERAUES, 1989. - 35 р.

   63. Вакуумная техника. Каталог компонентов фирмы Alcatel, 1986. -

       245 с.

   64. Vacuum  Valves.  Информационно-справочные  материалы  фирмы

       Alcatel, 1989. - 12 р.

   65. Vannes d'equeppe.  Информационно-справочные материалы фирмы

       Alkatel, 1987. - 4 р.

   66. UHN Components. Каталог фирмы VACUUM GENERATORS, 1989. - 40 р.

   67. Львов Б.Г.,  Шувалов А.С.  Современные сверхвысоковакуумные

       уплотнения. - М.: Высшая школа, 1984. - 71 с.

   68. Chernatony  L.  Recent advances in elastomer technology vor

                            - 7 -

       UHV application. // Vakuum. - V. 27, N 10, 1978.

   69. Гойхман  У.М.,  Антонов Б.Н.  О газопроницаемости некоторых

       резин. // Каучук и резина. - N 7, 1976.

   70. Домрачев С.Н.,  Моисеев В.Я., Саксаганский Г.Л. Конструиро-

       вание разъемных вакуумных соединений с  металлическими  уп-

       лотнителями.  // Электронная техника., сер. 4 "Электроваку-

       умные и газоразрядные приборы". - Вып. 3,1975.  - с. 67-75.

   71. Романенко Н.Т.  Агрегаты пневматических систем  летательных

       аппаратов. - М.: Машиностроение, 1976. - 98 с.

   72. Бушенин Д.В., Марусев В.А. Новые виды сильфонных уплотнений

       в вакуумной арматуре. - Владимир, 1982. - 88 с.

   73. Медников М.И. Вводы движения в вакуум. - М.: Машиностроение,

       1974. - 180 с.

   74. Деулин Е.А.  и др.  Расчет,  конструирование и  особенности

       эксплуатации механизмов для работы в вакууме.  - М.:  Маши-

       ностроение, 1986. - 79 с.

   75. Wheeler  W.R.  High  vacuum  gate  valves.  Пат.  США,  кл.

       251-204, N 3973753, 1976.

   76. Дривинг Н.Я., Назаров Л.Н. Сверхвысоковакуумный затвор про-

       извольной ориентации с использованием легкоплавкого  уплот-

       нителя. / Межвузовский сборник "Электронное машиностроение,

       робототехника, технология ЭВП". - М.: 1986. - с. 96 - 101.

   77. Усов  В.В.,  Гутник Г.Н.  К вопросу об унификации некоторых

       вакуумных изделий в ХФТИ.  / Сборник "Вопросы атомной науки

       и  техники".  Сер.  "Физика и техника высокого вакуума".  -

       Харьков: вып. 1, 1974.

   78. Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: Высшая школа, 1990. -

       319 с.

   79. Verfahren  zum  Abdichten  von  Hochvakuumverbindungen  und

       komponenten  im  Anlagenban.:  Пат.  281229  ГДР,   МКИ   .

                            - 8 -

       F16V15/08  /  Appel  Fritj,  Akademie der Wissenshaften der

       DDR. N 3272353. Заявл. 4.04.89. Опубл. 1.08.90.

   80. Батраков   В.Б.,   Львов   Б.Г.,   Шувалов  А.С.  Структур-

       но-конструктивная классификация высоковакуумных клапанов  и

       затворов.  / Тезисы докл.  V Всесоюз. конференции "Физика и

       техника высокого и сверхвысокого вакуума",  ч.  II.  -  Л.:

       1985. - с. 134 - 135.

   81. Батраков В.Б., Львов Б.Г. Анализ математических методов ав-

       томатизации  поискового конструирования и метод выбора тех-

       нических объектов для САПР в ГАП.  / В кн. "Разработка тео-

       ретических  основ проектирования ГАП".  - НТО МИЭМ,  N Гос.

       регистрации 01840047750.  Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02850050183. -

       М.: 1984, с. 4 - 31. ДСП.

   82. Половинкин А.И. Методы инженерного творчества. - Волгоград,

       1984. - 365 с.

   83. Вермишев Ю.Х.  Методы автоматического  поиска  решений  при

       проектировании  сложных технических систем.  - М.:  Радио и

       связь, 1982. - 152 с.

   84. Батищев Д.И. Поисковые методы оптимального проектирования.

       - М.: Советское радио, 1975. - 216 с.

   85. Одрин В.М., Картавов С.С. Морфологический анализ систем.

       - Киев: Наукова думка, 1977. - 147 с.

   86. Альтшуллер  Г.С.  Творчество  как точная наука.  - М.:  Со-

       ветское радио, 1979. - 175 с.

   87. Мюллер И. Эвристические методы в инженерных разработках.

       - М.: Радио и связь, 1984. - 142 с.

   88. Автоматизация поискового конструирования (искусственный ин-

       теллект в машинном проектировании) / Под.  ред. Половинкина

       А.И. - М.: Радио и связь, 1981 - 344 с.

   89. Буш Г.Я. Аналогия и техническое творчество. - Рига: Лиесма,

                            - 9 -

       1979. - 128 с.

   90. Дворянкин А.М., Половинкин А.И., Соболев А.Н. Методы и син-

       тез технических решений. - М.: Наука, 1977. - 103 с.

   91. Дворянкин А.М.  и др.  Методика поиска рациональных  техни-

       ческих  решений.  //  Управляющие системы и машины.  - N 5,

       1977. - с. 102 - 107.

   92. Половинкин  А.И.  Основы  инженерного  творчества:  Учебное

       пособие для студентов втузов.  - М.: Машиностроение, 1988.-

       368 с.

   93. Повилейко  Р.П.  Классификация  методов  решений  конструк-

       торско-изобретательских задач (ДМП).  / В кн. Информатика и

       ее проблемы. - Новосибирск, вып. 5, 1972. - с. 1 - 37.

   94. Zwicky F. Entdeeken, Erfinden, Forschen im morphologischen.

       Weltbild. Munchen, Zurich, Knaur, 1966.

   95. Ханзен Ф. Основы общей методики конструирования. Системати-

       зация конструирования. - Л.: Машиностроение, 1969. - 166с.

   96. Капустян В.М.,  Махотенко Ю.А. Конструктору о конструирова-

       нии атомной техники. - М.: Атомиздат, 1980. - 190 с.

   97. Холян А., Элюким С. Формализация составления варианто в за-

       дачах конструирования.  // Техническая  эстетика.  -  N  7,

       1970. - с. 3 - 5.

   98. Baaty U.  Rechnergestutzte Prinziperarbeitting  mit  Hilvfe

       der  morphologichen Analyse und Sunthese T.1.  / Industrie-

       Anzeiger. - 1971, N 17, p. 349 - 353.

   99. Lotter  R.Die  rechnergestutzte  Kourbinatious - methode im

       konstruktiven Entwicklimgesprozess /  Feingeratetechnik.  -

       1976, N 6. - p. 270 - 273.

  100. Цвиркун А.Д. Основы синтеза структуры сложных систем. - М.:

       Наука, 1982. - 200 с.

  101. Корячко В.П.,  Курейчик В.М.,  Норенков И.П.  Теоретические

                            - 10 -

       основы САПР. - М.: Энергоатомиздат, 1987. - 400 с.

  102. Быков В.П.  "Методическое обеспечение САПР  в  машинострое-

       нии", Л.: Машиностроение, Ленингр. отд., 1989. - 255 с.

  103. Аветисян Д.А.,  Башмаков И.А.,  Геминтер В.И. и др. Системы

       автоматизированного проектирования. Типовые элементы, мето-

       ды и процессы. - М.:Издательство стандартов, 1985. - 179 с.

  104. Норенков И.П. "Введение в автоматизированное проектирование

       технических устройств и систем".  - М.: Высшая школа, 1980.

       - 311 с.

  105. Норенков  И.П.  Системы автоматизированного проектирования.

       Принципы построения и структура. Кн. 1. - М.: Высшая школа,

       1986. - 127 с.

  106. Жук Д.М.,  Мартынюк В.А., Сомов П.А. Технические средства и

       операционные системы.  САПР.  Кн.  2 - Минск: Высшая школа,

       1988. - 156 с.

  107. Кулон Ж.-Л., Сабоннадьер Ж.-К. САПР в электротехнике. - М.:

       Мир, 1988. - 208 с.

  108. САПР в радиотехнике. Справочник. / Под ред И.П. Норенкова.

       - М.: Радио и связь, 1986. - 368 с.

  109. Ильин В.Н.,  Фролкин В.Г.,  Бутко А.И.  и др. Автоматизация

       схемотехнического проектирования.  -  М.:  Радио  и  связь,

       1987. - 368 с.

  110. Капустин Н.М., Васильев Г.Н. Автоматизация конструкторского

       и технологического проектирования.  САПР.  Кн.  6. - Минск:

       Вышэйшая школа, 1988. - 191 с.

  111. Керимов З.Г.,  Багиров С.А. Автоматизированное проектирова-

       ние конструкций. - М.: Машиностроение, 1985.

  112. САПР  изделий и технологических процессов в машиностроении.

       Справочник.  / Под ред.  Аллик Р.А.  - Л.:  Машиностроение,

       1986. - 319 с.

                            - 11 -

  113. Челищев Б.Е., Боброва И.В., Гонсалес-Сабатер А. Автоматиза-

       ция проектирования технологии в машиностроении. - М.: Маши-

       ностроение, 1987. - 264 с.

  114. Дризовский Л.М.,  Киселева Э.В.,  Буторина Т.С. Состояние и

       перспективы развития САПР. // Приборы и системы управления.

       N 11, 1983. - с. 15 - 17.

  115. Проников А.С. Надежность машин. - М.: Машиностроение, 1978.

       - 592 с.

  116. Тамм Б.Г., Пуусепп М.Э., Таваст Р.Р. Анализ и моделирование

       производственных систем. - М.: Финансы и статистика, 1987.-

       191 с.

  117. Батраков В.Б., Барашкова Г.Н., Кожевников А.И. Формирование

       концептуальных моделей объекта в САПР вакуумной  коммутаци-

       онно-регулирующей аппаратуры".  / Тезисы доклада ВНТС "САПР

       в машиностроении". - Ульяновск: 1990г. - с. 59.

  118. Арменский Е.В., Львов Б.Г., Митрофанов С.А. Стратегия пост-

       роения концептуальной модели технического объекта. / Межву-

       зовский  сборник "Методы моделирования и оптимизации в САПР

       конструкторско-технологических работ". - М.:1989. - с. 3-6.

  119. Батраков В.Б.  Функционально-структурная  модель  вакуумной

       коммутационно-регулирующей   аппаратуры".   /  Межвузовский

       сборник научных трудов "Методы моделировани и оптимизации в

       САПР  конструкторско-технологических  работ".  - М.:  МИЭМ,

       1989. - с. 81 - 87.

  120. А.с.  N 1346894 (СССР). Поворотный вакуумный затвор. / Бат-

       раков В.Б.,  Косухин В.В.,  Львов Б.Г.- Опубл. в Б.И. N 39,

       1987.

  121. Патент СССР N 368766, 1973.

  122. Артоболевский И.И. Теория механизмов. - М.: Наука, 1967. -

       720 с.

                            - 12 -

  123. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шихов А.И. Исследование динамики

       системы "вакуумная коммутационно-регулирующая аппаратура  -

       автоматический привод".  / Тезисы доклада V Всесоюзной кон-

       ференции "Физика и техника высокого и сверхвысокого  вакуу-

       ма", ч.II. - Л.: 1985. - с. 134.

  124. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шихов А.И. Исследование динамики

       системы  "вакуумный  натекатель  - электромеханический при-

       вод".  / Межвузовский сборник "Электронное  машиностроение,

       робототехника, технология ЭВП". - М.: 1984. - с. 3 - 8.

  125. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г. Параметрический выбор элементной

       базы при автоматизированном проектировании вакуумных систем

       научно-космической аппаратуры.  / В сб.  "Конструирование и

       технология изготовления космических приборов", АН СССР ИКИ.

       - М.: Наука, 1988. - с. 32 - 37.

  126. Бешелев С.Д.,  Гурвич Ф.Г.  Математико-статистичекие методы

       экспертных оценок. - М.: Статистика, 1980. - 263 с.

  127. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г. Интегральная оценка качества ме-

       ханизмов вакуумных клапанов.  - Деп.  ВИНИТИ, N 7435-В87. -

       М.: 1987. - 10 с.

  128. Дюран Б., Оделл П. Кластерный анализ. - М.: Статистика,

       1977. - 128 с.

  130. Назаров Л.Н., Лавыгин В.Л. Оптимизация конструкций оборудо-

       вания вакуумной техники. // ЭТ, сер. 7, ТОПО, вып. 6 (109),

       1981. - с. 38 - 40.

  131. Ипатов М.И. Расчет себестоимости проектируемых машин. - М.:

       Машиностроение, 1968. - 179 с.

  132. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г. Методические основы формализации

       структурного синтеза  вакуумной  коммутационно-регулирующей

       аппаратуры  (ВКРА).  /  Межвузовский сборник "Автоматизация

       проектно-конструкторских работ в машиностроении". - М.: МИ-

                            - 13 -

       ЭМ, 1991. - с. 89 - 96.

  133. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г. и др. Разработка математического

       обеспечения  автоматизированного  синтеза  структурных схем

       механизмов вакуумных клапанов. / В кн. "Разработка теорети-

       ческих  основ проектирования гибких автоматизированных про-

       изводств".  - НТО МИЭМ, N гос.регистрации 01840047750. Деп.

       ВНТИЦ.Инв.N 02850049753. - М.: 1984.- с. 45-87. ДСП.

  134. Петров Ю.А., Батраков В.Б., Львов Б.Г. и др. Разработка ППП

       синтеза  и анализа механизмов вакуумно-коммутационной аппа-

       ратуры.  - НТО КнАПИ и МИЭМ, N гос.регистрации 01880018619.

       Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02890019044, 1989.- 262 с.

  135. Озол О.Г.  Исследование  топологических  свойств  кинемати-

       ческих цепей. / Труды ЛСХА, вып. XVII - Рига: 1965.

  136. Артоболевский И.И.,  Руссман И.Б.,  Сергеев В.И., Статников

       Р.Б. О некоторых способах выбора интегрального критерия ка-

       чества в задачах оптимального проектирования машин./ "Маши-

       новедение", N 2, 1978.

  137. Батраков В.Б., Львов Б.Г., Шихов А.И. Кинематический анализ

       механизмов вакуумных прямопролетных затворов.  Деп. ВИНИТИ,

       N 3455-85. - М.: 1985. - 15 с.

  138. Львов Б.Г., Шихов А.И. Методика расчета коэффициента полез-

       ного действия механизмов  вакуумных  клапанов  и  затворов.

       Деп. ВИНИТИ, N 3454-85. - М.: 1985. - 12 с.

  139. Форсайт Дж.,  Малькольм М., Моулер К. Машинные методы мате-

       матических вычислений. - М.: Мир, 1980.

  140. Батраков В.Б.  Разработка сверхвысоковакуумной арматуры  на

       основе синтеза физического действия.  / Тезисы доклада ВНПК

       "Состояние и перспективы развития вакуумной техники"  ("Ва-

       куум-91"), ч. 2 - Казань: 1991. - с. 139 - 140.

  141. Банк данных по физическим эффектам и  явлениям,  предназна-

                            - 14 -

       ченный для поискового конструирования. - НТО ИЭИ, N гос.ре-

       гистрации 01830066993.  Деп.  ВНТИЦ.  Инв. N 02850047810. -

       Иваново: 1984. ДСП.

  142. Батраков В.Б., Кожеников А.И., Львов Б.Г. Метод автоматизи-

       рованного  выбора оптимального конструктивного варианта де-

       тали.  / Тезисы доклада Московской городской НТК "Автомати-

       зация производственных процессов и управление качеством". -

       М.: 1986. - с. 38. ДСП.

  143. Батраков В.Б., Львов Б.Г. и др. Подсистема параметрического

       выбора и анализа ВКРА.  / В  кн.  "Автоматизация  конструк-

       торской  и технологической подготовки ГПС".  - НТО МИЭМ,  N

       гос.  регистрации   01840047751.   Деп.   ВНТИЦ.   Инв.   N

       0280012444. - М.: 1987. - с. 22 - 31. ДСП.

  144. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г.  и др.  Разработка ППП выбора  и

       оценки элементной базы ВС; структурного синтеза и кинемати-

       ческого анализа механизмов ВКРА.  /  В  кн.  "Автоматизация

       конструкторской  и  технологической подготовки ГПС".  - НТО

       МИЭМ,  N гос.регистрации 01840047751.  Деп.  ВНТИЦ.  Инв. N

       02890021379. - М.: 1988. - с. 17 - 36. ДСП.

  145. Батраков В.Б., Кожевников А.И., Львов Б.Г. Автоматизирован-

       ный выбор элементной базы вакуумных систем. / Тезисы докла-

       да отраслевой НТК "Автоматизация конструкторской и техноло-

       гической  подготовки производства в условиях ГПС".  - Ужго-

       род: 1988. - с. 19 - 26.

  146. Батраков В.Б.,  Загуменнов А.Л.  Синтез технических решений

       ВКРА на ранних стадиях проектирования с применением ЭВМ.  /

       Тезисы   доклада   ВСНТК  "Автоматизация  проектирования  и

       конструирования в электронном машиностроении".  - М.: 1988.

       - с. 35. ДСП.

  147. Батраков В.Б., Кожевников А.И., Львов Б.Г. Структурно-пара-

       метрический синтез вакуумных систем технологического обору-

       дования.  / Тезисы доклада ВНПК  "Состояние  и  перспективы

       развития вакуумной техники" ("Вакуум-91").- Казань: 1991. -

       с. 53 - 54.

  148. Батраков  В.Б.,  Кожевников А.И.,  Львов Б.Г.  Формализация

       проектирования вакуумных манометров на этапе выбора ФПД.  /

       Тезисы доклада II ВСМУиС "Датчики, преобразователи информа-

       ции систем измерения,  контроля и  управления".  -  Гурзуф,

       1990. - с. 36.

  149. Батраков В.Б.,  Жирнов К.А.,  Львов Бю.Г. Создание вакумных

       манипуляторов  на  базе их автоматизированного структурного

       синтеза.  / Тезисы доклада V ВС по робототехническим систе-

       мам., ч. 1 - Геленджик: 1990. - с. 121 - 122.

  150. Батраков В.Б.,  Кожевников А.И.,  Львов Б.Г.,  Павлова Т.С.

       Автоматизация   конструкторских  работ  при  проектировании

       ВКРА.  / Тезисы доклада ВНТК "Информационное и  программное

       обеспечение САПР". - М.: 1989. - с. 101.

  151. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г. Структурно-функциональная модель

       САПР ВКРА. - Деп. ВИНИТИ, N 5702-В87. - М.: 1987. - 8 с.

  152. Батраков В.Б.,  Львов Б.Г. Структура и функции САПР изделий

       в интегрированном ГАП ВКРА. / Тезисы доклада зонального НТС

       "Состояние, опыт и направления работ по комплексной автома-

       тизации производства на основе ГАП, РТК и ПР". Пенза, 1987.

       - с. 96 - 97.

  153. Львов Б.Г.,  Шихов А.И.,  Лилье В.К.,  Батраков В.Б.  и др.

       Разработка и исследование сверхвысоковакуумной коммутацион-

       ной аппаратуры.  - НТО МИЭМ, N гос.регистрации 01820077528.

       Деп. ВНТИЦ. Инв. N 02850050187, М.: 1985. - 22 с. ДСП.

  154. А.с.  N 1275174 (СССР). Вакуумный электромагнитный затвор./

       Батраков  В.Б.,  Бродская О.Р.,  Губарев Е.В.,  Львов Б.Г.,

       Павлова Т.С. - Опубл. в Б.И. N 45, 1986.

  155. А.с.  1566156 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор. / Батра-

       ков В.Б.,  Барашкова Г.Н.,  Кожевников А.И.,  Львов Б.Г.  -

       Опубл. в Б.И. N 19, 1990.

  156. А.с.  N 1479779 (СССР).  Эксцентриковый привод  клапана.  /

       Батраков  В.Б.,  Косухин  В.В.,  Львов Б.Г.,  Шихов А.И.  -

       Опубл. в Б.И. N 18, 1989.

  157. А.с.  N 1255789 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор. / Бат-

       раков В.Б.,  Лилье В.К., Львов Б.Г.,Павлова Т.С.,Шихов А.И.

       - Опубл. в Б.И. N 33, 1986.

  158. А.с. N 1514998 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор с элект-

       ромеханическим приводом.  / Батраков В.Б., Кожевников А.И.,

       Львов Б.Г.,  Павлова Т.С.,  Самойлов Ю.С. - Опубл. в Б.И. N

       38, 1989.

  159. Вязовецков В.В.  Вопросы конструирования сверхвысоковакуум-

       ных  клапанов с деформируемым уплотнителем.  / Межвузовский

       сборник "Электронное машиностроение,  робототехника, техно-

       логия ЭВП" - М.: 1986 - с. 81 - 86.

  160. А.с.  N 1222963 (СССР). Устройство для управления электроп-

       риводом вакуумной арматуры.  / Батраков В.Б., Косухин В.В.,

       Львов Б.Г., Шихов А.И. - Опубл. в Б.И. N 13, 1986.

  161. Батраков В.Б.,  Буриков С.А., Шихов А.И. Разработка средств

       управления вакуумным оборудованием.  / Тезисы доклада  ВНТК

       "Микропроцессорные средства локальной автоматики".  - Грод-

       но, 1989. - с. 42 - 43.

  162. А.с.  N 1291772 (СССР).  Способ герметизации цельнометалли-

       ческого разъемного вакуумного соединения.  / Батраков В.Б.,

       Львов Б.Г. - Опубл. в Б.И. N 7, 1987.

  163. А.с.  N 1323806 (СССР). Сверхвысоковакуумный клапан. / Бат-

       раков В.Б.,  Львов Б.Г.,  Павлов П.А. - Опубл. в Б.И. N 26,

       1987.

  164. Жолобов С.П.,  Малев М.Д.  Диффузия кислорода в металле при

       электронной бомбардировке поверхности.  / ЖТФ, т. XLI, N 3,

       1971. - с. 627 - 629.

  165. А.с.  N 1373955 (СССР). Сверхвысоковакуумный затвор. / Бат-

       раков В.Б.,  Варлов Л.Я.,  Лилье В.К.,  Львов Б.Г.,  Павлов

       П.А.- Опубл. в Б.И. N 6, 1988.